真空燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時(shí)需要對燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。
真空燒結(jié)爐也具有潤滑劑燒除、預(yù)燒結(jié)及高溫?zé)Y(jié)的功能。潤滑劑含量多的壓坯可先在一般爐中燒除，然后再在真空爐內(nèi)燒結(jié)。
真空燒結(jié)爐內(nèi)部通常是由加熱部分和隔熱保溫兩部分組成的燒結(jié)區(qū)。加熱形式有電熱元件（如碳管、碳棒）加熱、中頻感應(yīng)加熱兩種。爐子的冷卻采用水夾套冷卻。為了加速冷卻，可向爐內(nèi)通入氫、氮、氬等氣體。
1、溫度控制：PID自動(dòng)控制溫度，數(shù)字顯示（可編程度30段曲線；全自動(dòng)升溫、保溫、降溫）上限報(bào)警、偏差報(bào)警、程序運(yùn)行結(jié)束自動(dòng)停止、無需人值守（可做成一鍵抽真空升降溫，全程PLC控制）
2、溫控儀表線性電流輸出，觸發(fā)器移相觸發(fā)反并聯(lián)雙向可控硅。
3、控溫?zé)犭娕疾捎肧分度熱電偶
4.警報(bào)動(dòng)作：
①超溫報(bào)警：爐內(nèi)溫度上升達(dá)到報(bào)警溫度時(shí)，自動(dòng)切斷電源，報(bào)警提示燈亮。
②斷偶報(bào)警：熱電偶開路，儀表報(bào)警并自動(dòng)斷電。
